Zolltarifnummer 9027.81.00: Massenspektrometer

So genanntes Sekundärionen-Massenspektrometer, im Wesentlichen bestehend aus: - Ultrahochvakuum-Kammern mit Vakuumpumpen und Messröhren - Vakuummanipulator zur Probenpositionierung - Video-Kameras zur Probenbeobachtung - Ionenquellen zur Anregung der Sekundärionenemission - Ionenquellen zum schichtweisen Abtrag der Probe - Elektronenquelle zur Ladungskompensation - Flugzeitmassenspektrometer zur Massenanalyse der Sekundärionen - Detektoren zum Nachweis der erzeugten Sekundärionen und –elektronen - Integrierter Schaltschrank für die Versorgungselektronik mit angeschlossenem Arbeitsplatz (Computer) Die Einzelkomponente sind über Kabel miteinander verbunden und bilden eine funktionelle Einheit. Das Gerät dient der chemischen Oberflächen- und Mikrobereichsanalyse von Festkörpern unterschiedlichster Beschaffenheit bei einer erreichbaren Massenauflösung von > 25.000 und einer erreichbaren Lateralauflösung der Flüssigmetall-Ionenquelle von < 50 nm. Die Ware wird als "Gerät für physikalische oder chemische Untersuchungen, nicht von den Unterpositionen (KN) 9027 1010 bis 9027 5000 erfasst, als Massenspektrometer" eingereiht.

Hochauflösendes Flugzeit-Sekundärionenmassenspektrometer, im Wesentlichen bestehend aus: - Ultrahochvakuum-Kammern mit Vakuumpumpen und Messröhren, - Vakuummanipulator zur Probenpositionierung, - Video-Kameras zur Probenbeobachtung, - lonenquellen zur Anregung der Sekundärionenemission, - lonenquellen zum schichtweisen Abtrag der Probe, - Elektronenquelle zur Ladungskompensation, - Flugzeitmassenspektrometer zur Massenanalyse der Sekundärionen, - Detektoren zum Nachweis der erzeugten Sekundärionen und -elektronen, - Arbeitstisch mit integriertem Schaltschrank für die Versorgungselektronik, - Computer mit Software zur Gerätesteuerung, Datenerfassung und Datenverarbeitung. Die Einzelkomponenten sind über Kabel miteinander verbunden und bilden eine funktionelle Einheit. Das Gerät dient der chemischen Oberflächen- und Mikrobereichsanalyse von Festkörpern unterschiedlichster Beschaffenheit. Die Lateralauflösung beträgt 80 nm, die Massenauflösung bis zu 17.000 amu (atomic mass unit). Zur äußeren Form siehe Abbildung in der Anlage. Die Ware wird als "Gerät für physikalische oder chemische Untersuchungen, anderes als von den Unterpositionen (KN) 9027 1010 bis 9027 5000 erfasst, als Massenspektrometer" eingereiht.

Hochauflösendes und hochempfindliches Gerät zur niederenergetischen Ionenstreuung, im Wesentlichen bestehend aus: - Ultrahochvakuum-Kammern mit Vakuumpumpen und Messröhren, - Vakuummanipulator zur Probenpositionierung, - Video-Kameras zur Probenbeobachtung, - lonenquelle für Edelgasionen, die elastisch an der Probe gestreut werden, - lonenquellen zum schichtweisen Abtrag der Probe, - Elektronenquelle zur Ladungskompensation, - elektrostatischer Energieanalysator für die gestreuten Ionen, - Detektor zum Nachweis der gestreuten Ionen, - Detektor zum Nachweis der gestreuten Sekundärelektronen, - Arbeitstisch mit integriertem Schaltschrank für die Versorgungselektronik, - Computer mit Software zur Gerätesteuerung, Datenerfassung und Datenverarbeitung. Die Einzelkomponenten sind über Kabel miteinander verbunden und bilden eine funktionelle Einheit. Das Gerät dient der chemischen Oberflächen- und Mikrobereichsanalyse von Festkörpern unterschiedlichster Beschaffenheit. Die Lateralauflösung beträgt 5 µm, die Massenauflösung ist ausreichend, um alle Elemente trennen zu können. Zur äußeren Form siehe Abbildung in der Anlage. Die Ware wird als "Gerät für physikalische oder chemische Untersuchungen, nicht von den Unterpositionen (KN) 9027 1010 und 9027 5000 erfasst, als Massenspektrometer" eingereiht.

Sog. Detektorkopf-Baugruppe als unvollständiges Messgerät, im Wesentlichen bestehend aus einem Detektor in Form eines Keramikformteils, der zusammen mit einem Heizelement, das den Detektor auf Betriebstemperatur heizt, von einem Kunststoffgehäuse umfasst wird. Das Gehäuse besitzt einen Eingang für gasförmige Partikelproben. An dem Gehäuse befinden sich zudem ein Ladder-Board, welches die Hochspannung für die UV- Lampe (nicht Gegenstand dieser vZTA-Entscheidung) erzeugt und die Messkontakte zur Verfügung stellt, eine Vorverstärker-Platine in einem Gehäuse aus unedlem Metall, die die gewonnenen Messdaten verstärkt und einem Analysesystem (nicht Gegenstand dieser vZTA-Entscheidung) zur Verfügung stellt, und ein Zugang für die UV-Lampe zum Detektor. Auf der Rückseite der Detektorbaugruppe befinden sich zwei Stahl-Anschlussstutzen für die Zu- und Abfuhr der Systemluft. Zur äußeren Form siehe Abbildung in der Anlage. Die Messung erfolgt mittels der Ionen-Mobilitätsspektroskopie. Dazu werden Partikelspuren, die mit einer Wischprobe genommen wurden, in einen gasförmigen Zustand gebracht, um dann im Detektor durch die UV-Lampe ionisiert zu werden. Anschließend werden die Partikel über einen Hochspannungsleiter elektrisch durch den Detektor gezogen, wobei deren Flugzeit gemessen wird. Die Detektorkopf-Baugruppe dient der Drogen- und Sprengstoffdetektion und wird mit einer Recheneinheit, einem Display und Drucker zu einem Spurendetektorsystem zusammengesetzt. Die Ware wird als "Gerät für physikalische oder chemische Untersuchungen, anderes als von den Unterpositionen (KN) 9027 1010 bis 9027 5000 erfasst, als Massenspektrometer" eingereiht.